王岸然很清楚,光刻机想在短时间取得突破,可能性几乎为零
浸入式光刻机技术也是渺茫,双工台的难度等级甚至比光刻机还要难
可以预见的是,依靠先进设备提升工艺几乎不可能
王岸然现在要做的,就是在现有的设备条件下,如何提升制造工艺
这并不是不可能的,多重曝光,对准双重成像技术SADP都能有效的提升工艺水平
王岸然很清楚,光刻机想在短时间取得突破,可能性几乎为零
从红月开始:后记——致那些终究会走向幸福的人们! 发表于 2022-11-03 17:01:51浸入式光刻机技术也是渺茫,双工台的难度等级甚至比光刻机还要难
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